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一種用于半導體元件加工的切筋成型裝置的制作方法

文檔序號:42327319發(fā)布日期:2025-07-01 19:47閱讀:13來源:國知局

本發(fā)明涉及半導體元件加工,更具體地說,它涉及一種用于半導體元件加工的切筋成型裝置。


背景技術:

1、半導體元件切筋成型是半導體封裝工藝中的一個重要環(huán)節(jié),主要用于對封裝好的半導體元件進行引腳處理,即將半導體芯片封裝后連接芯片與外部電路的金屬引腳進行切割和成型,使引腳具有合適的長度、形狀和間距,以便于后續(xù)的安裝和焊接到印刷電路板等基板上。

2、目前,在現(xiàn)有的半導體元件切筋成型工藝中,完整的加工流程依賴多組設備協(xié)同作業(yè)。首先,移載組件將待加工的元件框架精準放置于輸送線上,隨后第一組切筋組件對引腳實施初步切割;待切筋工序完成后,第二組加工組件將元件從框架上分離并排出。然而,在元件與框架分離的過程中,由于應力釋放、機械作用力不均衡等因素影響,引腳極易出現(xiàn)角度偏移、彎折不到位等形變問題,難以滿足高精度封裝的質量要求。

3、當前,行業(yè)內(nèi)普遍采用的解決方案是將完成切筋分離的元件進行分選,再轉運至外接整形設備進行二次加工,這種分步式處理模式雖能在一定程度上修正引腳缺陷,但不可避免地存在流程冗長、設備占地面積大、人工干預多等弊端,不僅顯著降低了生產(chǎn)效率,增加了生產(chǎn)成本,還可能因多次轉運導致元件表面損傷或引入額外雜質,進而影響產(chǎn)品的整體良率與可靠性。


技術實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術存在的不足,本發(fā)明的目的在于提供一種用于半導體元件加工的切筋成型裝置。

2、為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了如下技術方案:一種用于半導體元件加工的切筋成型裝置,包括工作臺、依次設置于工作臺頂部的成型組件、檢測組件、抓取組件和矯形組件,所述工作臺一側設置有裝管組件。

3、所述檢測組件包括安裝于工作臺頂部的移載機構、分流機構和判斷機構。

4、所述矯形組件包括安裝于工作臺頂部的基臺,所述基臺位于抓取組件的一側,所述基臺的頂部安裝有龍門架和矯形電動滑軌,所述龍門架的頂部安裝有矯正氣缸,所述矯正氣缸的活塞桿安裝有整形機構。

5、所述矯形電動滑軌的頂部滑動有滑塊,所述滑塊的頂部安裝有頂升氣缸和兩個整形臺,所述頂升氣缸的活塞桿安裝有放置臺。

6、本發(fā)明進一步設置為:所述整形機構包括連接于矯正氣缸活塞桿端部的板體,所述板體的底部滑動連接有兩個支架,所述板體的底部安裝有雙向氣缸,所述雙向氣缸的兩個活塞桿分別與兩個支架相連接,兩個所述支架的頂部均安裝有導向桿,所述導向桿的外側壁滑動連接有多個滑桿,每個所述滑桿的頂部均安裝有調整氣缸,所述調整氣缸的活塞桿貫穿對應滑桿且連接有調整板,所述調整板的頂部豎直向下安裝有夾具。

7、本發(fā)明進一步設置為:每個所述支架的底部均滑動連接有滑移板,所述滑移板的底部安裝有輔助氣缸,所述輔助氣缸的活塞桿端部與支架相連接,所述滑移板的底部等距開設有多個通槽,多個所述通槽與多個滑桿相對應設置,多個所述通槽自滑移板的中部向兩側傾斜設置,每個所述滑桿的底部均連接有立柱,所述立柱滑動連接于對應通槽的內(nèi)部,所述板體的底部豎直向下安裝有彈簧桿。

8、通過采用上述技術方案,構建不良品處理方式,抓取組件移載分選后的不良品,同步啟動整形機構對元件引腳進行動態(tài)矯正,整形過程通過同一支架上的多個夾具同步位移,快速定位至待整形引腳正上方,隨后,各調整氣缸有序驅動調整板與夾具垂直下移,獲取引腳并進行夾持矯正,將已經(jīng)存在引腳形變的元件及時的整形,避免存在流程冗長、設備占地面積大、人工干預多等弊端,提高了生產(chǎn)成本,減少轉運造成的元件損傷,整形機構下移時,彈簧桿先彈性擠壓定位元件,夾具同步靠近引腳,判斷機構已提前檢測出引腳形變位置,若形變引腳與正常引腳交錯,對應調整氣缸推動調整板及夾具下移,將形變引腳下壓分離,利用夾具底部球體填充間距,調整偏移方向。待球體填滿間距后,夾具夾持引腳,多夾具隨支架同步移動引導整形,配合放置臺與整形機構協(xié)同下移,使引腳與整形臺接觸完成矯正,若形變引腳間交錯,多組夾具交替下壓,逐次擴大間距并獲取引腳,最終完成整形,避免單一形變引腳捋直矯正時,強大的外力傳導可能致使相鄰引腳產(chǎn)生二次變形的情況。

9、本發(fā)明進一步設置為:所述成型組件包括安裝于工作臺頂部的移動機構、第一切筋機構和第二切筋機構,所述移動機構延伸至第一切筋機構和第二切筋機構的底部設置。

10、所述第一切筋機構包括安裝于工作臺頂部的四個第一立桿,四個所述第一立桿的頂部連接有第一頂板,所述第一頂板的頂部安裝有第一氣缸,所述第一氣缸的活塞桿貫穿第一頂板的頂部且連接有第一切筋模,所述第一切筋?;瑒舆B接于四個第一立桿的外壁。

11、所述第二切筋機構包括安裝于工作臺頂部的四個第二立桿,四個所述第二立桿的頂部連接有第二頂板,所述第二頂板的頂部安裝有第三氣缸,所述第三氣缸的活塞桿貫穿第二頂板的頂部且連接有壓板,所述壓板滑動連接于四個第二立桿的外壁,四個所述第二立桿的外側壁且位于壓板的下方滑動連接有第二切筋模,所述第二切筋模的底部四角處均安裝有輔助彈簧,所述輔助彈簧套設于對應第二立桿的外側壁,且所述輔助彈簧的端部與對應第二立桿相連接。

12、通過采用上述技術方案,承載有元件的框架依次經(jīng)過第一切筋機構和第二切筋機構,第一切筋機構和第二切筋機構配合對元件進行切筋成型并從框架上切除,具體地,當承載有元件的框架移動到第一切筋模的下方時,第一切筋模與下模配合將元件的引腳從框架上切除并成型,當元件和框架移動到第二切筋模的下方時,壓板推動第二切筋模下移,第二切筋模將元件從框架上切除,隨后,第三氣缸帶動壓板上移遠離第二切筋模,輔助彈簧將第二切筋模頂起,此時即可完成元件和框架的分離。

13、本發(fā)明進一步設置為:所述移載機構包括安裝于工作臺頂部的第二電動滑軌以及滑動連接于第二電動滑軌側壁的第一電動滑軌,所述第一電動滑軌呈豎直設置,所述第一電動滑軌的側壁滑動連接有連接桿,所述連接桿延伸至移動機構的上方且安裝有多組電動吸盤。

14、本發(fā)明進一步設置為:所述分流機構包括安裝于工作臺頂部的輸送帶機構,所述電動吸盤處于輸送帶機構的上方,所述輸送帶機構的兩側對稱安裝有連接件,所述連接件的底部且位于輸送帶機構的上方對稱安裝有兩個第一擋板以及兩個第二擋板,兩個所述第二擋板位于兩個第一擋板之間,所述輸送帶機構的一端連接有第一框架,所述第一框架的底面中部連接有第三擋板,所述第三擋板位于兩個第二擋板之間,所述第二擋板的底部與輸送帶機構的頂部之間設置有間隙。

15、所述第二擋板和第一擋板遠離第一框架的一端相齊平且連接有擋條,所述輸送帶機構的中部位置連接有第二框架,所述第二框架的一側鉸接有鉸接板,所述第二框架的頂部與鉸接板的頂部之間鉸接安裝有分流氣缸,所述分流氣缸與第三擋板相對應設置。

16、通過采用上述技術方案,通過電動吸盤移載的元件放置在兩個第二擋板和第三擋板之間的空隙中,且輸送帶機構帶動放置的元件向前輸送,當元件經(jīng)過判斷機構的下方時,判斷機構對元件的形狀進行檢測,判斷元件的引腳是否標準,若元件的引腳為標準形狀,此元件繼續(xù)向前輸送,若元件的引腳發(fā)生形變,則利用分流氣缸推動鉸接板擺動,即鉸接板延伸到發(fā)生形變的元件前方,元件與鉸接板接觸后被鉸接板撥動,元件從第二擋板下方的間隙位置被撥到第二擋板和第一擋板之間,元件繼續(xù)向前輸送,此時,可實現(xiàn)元件的檢測和分選。

17、本發(fā)明進一步設置為:所述抓取組件包括安裝于工作臺頂部且位于輸送帶機構一側的l形架,所述l形架的一端延伸至輸送帶機構的上方且安裝有抓取電動滑軌,所述抓取電動滑軌的底部滑動安裝有抓取氣缸,所述抓取氣缸的輸出端底部連接有承載板,所述承載板的底部安裝有夾持氣缸,所述夾持氣缸的兩個輸出端均連接有夾爪,所述夾爪的底部安裝有抓取吸盤。

18、通過采用上述技術方案,抓取電動滑軌用于推動抓取氣缸、承載板、夾持氣缸、夾爪以及抓取吸盤移動,并且利用抓取氣缸驅動承載板、夾持氣缸、夾爪以及抓取吸盤上下移動,進而調節(jié)抓取吸盤的位置,夾持氣缸用于帶動夾爪移動,進而調整兩個抓取吸盤之間的間距,當元件輸送到擋條位置時,抓取吸盤移動到元件的正上方并進行抓取,抓取的元件被移載到裝管組件上進行裝管作業(yè)。

19、本發(fā)明進一步設置為:所述裝管組件包括設置于工作臺一側的斜架,所述斜架的頂部安裝有調節(jié)氣缸,所述調節(jié)氣缸的活塞桿端部連接有兩個放置槽,兩個所述放置槽的內(nèi)部均設置有管槽,斜架的頂部且位于兩個管槽之間安裝有緩沖機構。

20、本發(fā)明進一步設置為:所述緩沖機構包括安裝于斜架的頂部且位于兩個管槽之間的雙向電機,所述雙向電機的兩個輸出端均安裝有攔截機構。

21、本發(fā)明進一步設置為:兩組所述攔截機構均包括盤體以及環(huán)繞等距連接于盤體側壁上的限位槽,所述限位槽的內(nèi)部滑動連接有移動桿,所述移動桿于限位槽的內(nèi)側壁之間連接有緩沖彈簧,所述移動桿延伸至對應管槽的上方且等距連接有多個擋桿。

22、通過采用上述技術方案,調節(jié)氣缸推動放置槽在斜架的頂部位移,即管槽在空置狀態(tài)下,調節(jié)氣缸的活塞桿完全伸長,而放置槽靠近攔截機構,此時管槽向上延伸超過工作臺的高度,此狀態(tài)下,通過抓取組件將元件放置到管槽內(nèi)部時,可以減少元件的滑動距離,減少元件之間的碰撞,元件放置到管槽內(nèi)部時,首先利用其中一個移動桿上的多個擋桿對元件進行攔截。元件與對應擋桿接觸時自動調整角度,隨后,多個限位槽環(huán)繞位移,使得阻擋元件的擋桿與管槽內(nèi)部接觸,擋桿將元件向來料方向推動,同時受管槽阻擋反向擠壓緩沖彈簧,擋桿將元件撥動一段距離后與管槽分離,緩沖彈簧復位,等待下一個元件來料,下一組擋桿繼續(xù)對新元件進行調整,這種步進式操作既能避免元件因重心偏移產(chǎn)生撞擊,又能通過管槽移動縮短元件下落距離,有效減少元件間碰撞。

23、綜上所述,本技術包括以下至少一種有益技術效果:

24、(1)通過設置抓取組件與整形機構,構建不良品處理方式,抓取組件移載分選后的不良品,同步啟動整形機構對元件引腳進行動態(tài)矯正,整形過程通過同一支架上的多個夾具同步位移,快速定位至待整形引腳正上方,隨后,各調整氣缸有序驅動調整板與夾具垂直下移,獲取引腳并進行夾持矯正,將已經(jīng)存在引腳形變的元件及時的整形,避免存在流程冗長、設備占地面積大、人工干預多等弊端,提高了生產(chǎn)成本,減少轉運造成的元件損傷。

25、(2)整形機構下移時,彈簧桿先彈性擠壓定位元件,夾具同步靠近引腳,判斷機構已提前檢測出引腳形變位置,若形變引腳與正常引腳交錯,對應調整氣缸推動調整板及夾具下移,將形變引腳下壓分離,利用夾具底部球體填充間距,調整偏移方向。待球體填滿間距后,夾具夾持引腳,多夾具隨支架同步移動引導整形,配合放置臺與整形機構協(xié)同下移,使引腳與整形臺接觸完成矯正,若形變引腳間交錯,多組夾具交替下壓,逐次擴大間距并獲取引腳,最終完成整形,避免單一形變引腳捋直矯正時,強大的外力傳導可能致使相鄰引腳產(chǎn)生二次變形的情況。

26、(3)通過設置調節(jié)氣缸,調節(jié)氣缸推動放置槽在斜架的頂部位移,即管槽在空置狀態(tài)下,調節(jié)氣缸的活塞桿完全伸長,而放置槽靠近攔截機構,此時管槽向上延伸超過工作臺的高度,此狀態(tài)下,通過抓取組件將元件放置到管槽內(nèi)部時,可以減少元件的滑動距離,減少元件之間的碰撞。

27、(4)通過設置攔截機構,元件放置到管槽內(nèi)部時,首先利用其中一個移動桿上的多個擋桿對元件進行攔截。元件與對應擋桿接觸時自動調整角度,隨后,多個限位槽環(huán)繞位移,使得阻擋元件的擋桿與管槽內(nèi)部接觸,擋桿將元件向來料方向推動,同時受管槽阻擋反向擠壓緩沖彈簧,擋桿將元件撥動一段距離后與管槽分離,緩沖彈簧復位,等待下一個元件來料,下一組擋桿繼續(xù)對新元件進行調整,這種步進式操作既能避免元件因重心偏移產(chǎn)生撞擊,又能通過管槽移動縮短元件下落距離,有效減少元件間碰撞。

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