技術(shù)特征：

1.一種化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，包含：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物，其特征在于，

13.一種半導(dǎo)體器件的制造方法，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
提供一種化學(xué)機(jī)械研磨用氧化鈰粒子及包含其的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物。通過將本發(fā)明的特征性的氧化鈰粒子與凹陷調(diào)節(jié)劑組合，能夠提供在抑制研磨工藝中產(chǎn)生的凹陷的同時(shí)，能夠提高氧化膜研磨速度的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物及利用其的半導(dǎo)體器件的制造方法。

技術(shù)研發(fā)人員：李正浩,金錫主
受保護(hù)的技術(shù)使用者：秀博瑞殷株式公社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/9