技術(shù)編號：42132335
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種包含氧化鈰粒子的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物以及半導(dǎo)體器件的制造方法，具體涉及增加通過與現(xiàn)有的氧化鈰粒子不同的合成方法得到的氧化鈰表面的ce的比例，盡管粒徑小，但是能夠在低含量下具有較高的氧化膜去除速度，并與此組合，能夠通過適當(dāng)?shù)奶砑映煞謥頊p少凹陷的產(chǎn)生，進(jìn)一步提高氧化膜研磨速度的化學(xué)機(jī)械研磨用漿料組合物及利用其的半導(dǎo)體器件的制造方法。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體器件變得多樣且高度集成化，更加精細(xì)的圖案形成技術(shù)正在被使用，因此，半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)正在變得更為復(fù)雜，并且，為了提高光刻(p...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。