本發(fā)明涉及整形裝置。

背景技術(shù)：

1、有時需要通過對板狀的對象物進行加熱處理或冷卻處理來對對象物進行整形。用于實現(xiàn)這種目的的基板處理裝置在日本特開2008－177303號公報(專利文獻1)中有所記載。該基板處理裝置具備加熱板。在加熱板的表面上形成有多個銷狀突起，以在加熱板與晶圓之間形成規(guī)定尺寸的縫隙。另外，在加熱板的表面上配置有環(huán)狀隔壁，以在徑向上對間隙分別進行劃分。使用這種構(gòu)造對走了形的晶圓進行加熱處理。

2、專利文獻1：日本特開2008－177303號公報

3、在專利文獻1記載的基板處理裝置中，通過加熱板從下側(cè)對對象物進行加熱。對象物由多個銷狀突起進行保持。在對象物例如如樹脂基板那樣柔軟基板的情況下，在由多個銷狀突起進行保持的狀態(tài)下，難以正確地整形成平面狀。另外，在要求將對象物整形成除了平面狀以外的所希望的形狀的情況下，在只是通過多個銷狀突起支承了對象物的狀態(tài)下，也難以整形成所希望的形狀。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、因此，本發(fā)明的目的在于提供容易將板狀的對象物整形成所希望的形狀的整形裝置。

2、為了實現(xiàn)上述目的，基于本發(fā)明的整形裝置具備：基部，該基部可支承板狀的對象物；支承部件，該支承部件能夠獲得從上述基部向上突出的第1狀態(tài)而用以支承上述對象物；加熱部，該加熱部用于加熱被上述支承部件支承著的狀態(tài)的上述對象物；和施力部，該施力部向下對上述對象物施力。上述支承部件可相對于上述基部相對地升降。

3、根據(jù)本發(fā)明，由于多個支承銷可升降，所以容易將板狀的對象物整形成所希望的形狀。

技術(shù)特征：

1.一種整形裝置，其中，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整形裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整形裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的整形裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的整形裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的整形裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的整形裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的整形裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整形裝置，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整形裝置，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整形裝置，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的整形裝置，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求5～7中任一項所述的整形裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
提供整形裝置。整形裝置(101)具備：基部(12)，該基部能支承板狀的對象物；作為支承部件的多個支承銷(4)，該多個支承銷能夠獲得從基部(12)向上突出的第1狀態(tài)而用以支承上述對象物；加熱部(2)，該加熱部用于對被多個支承銷(4)支承著的狀態(tài)的上述對象物進行加熱；和施力部，該施力部向下對上述對象物施力，上述多個支承銷能相對于上述基部相對地升降。

技術(shù)研發(fā)人員：小松了
受保護的技術(shù)使用者：株式會社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/9