本發(fā)明涉及整形裝置。

背景技術(shù)：

1、有時(shí)需要通過對(duì)板狀的對(duì)象物進(jìn)行加熱處理或冷卻處理來對(duì)對(duì)象物進(jìn)行整形。用于實(shí)現(xiàn)這種目的的基板處理裝置在日本特開2008－177303號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中有所記載。該基板處理裝置具備加熱板。在加熱板的表面上形成有多個(gè)銷狀突起，以在加熱板與晶圓之間形成規(guī)定尺寸的縫隙。另外，在加熱板的表面上配置有環(huán)狀隔壁，以在徑向上對(duì)間隙分別進(jìn)行劃分。使用這種構(gòu)造對(duì)走了形的晶圓進(jìn)行加熱處理。

2、專利文獻(xiàn)1：日本特開2008－177303號(hào)公報(bào)

3、在專利文獻(xiàn)1記載的基板處理裝置中，通過加熱板從下側(cè)對(duì)對(duì)象物進(jìn)行加熱。對(duì)象物由多個(gè)銷狀突起進(jìn)行保持。在對(duì)象物例如如樹脂基板那樣柔軟基板的情況下，在由多個(gè)銷狀突起進(jìn)行保持的狀態(tài)下，難以正確地整形成平面狀。另外，在要求將對(duì)象物整形成除了平面狀以外的所希望的形狀的情況下，在只是通過多個(gè)銷狀突起支承了對(duì)象物的狀態(tài)下，也難以整形成所希望的形狀。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、因此，本發(fā)明的目的在于提供容易將板狀的對(duì)象物整形成所希望的形狀的整形裝置。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，基于本發(fā)明的整形裝置具備：基部，該基部可支承板狀的對(duì)象物；支承部件，該支承部件能夠獲得從上述基部向上突出的第1狀態(tài)而用以支承上述對(duì)象物；加熱部，該加熱部用于加熱被上述支承部件支承著的狀態(tài)的上述對(duì)象物；和施力部，該施力部向下對(duì)上述對(duì)象物施力。上述支承部件可相對(duì)于上述基部相對(duì)地升降。

3、根據(jù)本發(fā)明，由于多個(gè)支承銷可升降，所以容易將板狀的對(duì)象物整形成所希望的形狀。

技術(shù)特征：

1.一種整形裝置，其中，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整形裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的整形裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的整形裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的整形裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的整形裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的整形裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的整形裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整形裝置，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整形裝置，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的整形裝置，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的整形裝置，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求5～7中任一項(xiàng)所述的整形裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
提供整形裝置。整形裝置(101)具備：基部(12)，該基部能支承板狀的對(duì)象物；作為支承部件的多個(gè)支承銷(4)，該多個(gè)支承銷能夠獲得從基部(12)向上突出的第1狀態(tài)而用以支承上述對(duì)象物；加熱部(2)，該加熱部用于對(duì)被多個(gè)支承銷(4)支承著的狀態(tài)的上述對(duì)象物進(jìn)行加熱；和施力部，該施力部向下對(duì)上述對(duì)象物施力，上述多個(gè)支承銷能相對(duì)于上述基部相對(duì)地升降。

技術(shù)研發(fā)人員：小松了
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/9