本發(fā)明涉及靜電吸盤領域，特別涉及具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤。
背景技術：
1、陶瓷靜電吸盤是利用靜電原理來吸附和固定物體的裝置。廣泛應用于多個領域，尤其在半導體制造行業(yè)中扮演著重要角色。
2、目前，現有技術中的靜電吸盤常設置電阻加熱結構，其均勻布設在靜電吸盤內部，靜電吸盤加熱時，只能進行整體加熱，無法進行分區(qū)加熱，使得靜電吸盤上的不同區(qū)域無法根據具體的情況進行加熱調控；同時加熱結構安裝至靜電吸盤內部，其不易進行脫離取出，在長期使用后，出現損傷或故障，其不便于進行維護檢修或更換。
技術實現思路
1、本發(fā)明為了解決無法對靜電吸盤進行分區(qū)加熱溫控以及加熱結構不易取出維護的技術問題，而提供具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤。
2、本發(fā)明通過以下技術方案解決上述技術問題：
3、本發(fā)明提供了具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，包括靜電吸盤本體，所述靜電吸盤本體設置有基座；還包括：內腔，所述內腔設置在基座內，且基座內設置有若干個均勻分布的加熱片；升降機構，所述升降機構包括驅動部以及升降柱，所述驅動部用于驅動升降柱升降移動；旋轉機構，所述旋轉機構與加熱片底面連接，且旋轉機構安裝至升降機構上；安裝機構，所述安裝機構包括與升降機構底部相連的嵌塊以及設置在嵌塊兩側的鎖定組件，所述嵌塊與開設在基座底部的嵌槽配合連接，所述鎖定組件與開設在嵌槽兩側的鎖孔插接；所述鎖定組件具有設置在升降柱下方的解鎖部，所述解鎖部受升降柱下壓，使鎖定組件解鎖；導熱盤，所述導熱盤可上下移動，且導熱盤設置在加熱片的上方，所述導熱盤與內腔的頂面彈性連接；散熱扇，所述散熱扇安裝至基座的側方，且散熱扇的內側口與內腔連通，所述散熱扇的外側設置有防塵網；清掃機構，所述清掃機構設置在防塵網上，且清掃機構的輸入端與導熱盤連接。
4、在本技術方案中，通過若干個加熱片可進行分區(qū)加熱，且加熱片通過旋轉機構進行驅動可自轉，方便進行區(qū)域內的均勻加熱，且通過安裝機構，使加熱片、升降機構和旋轉機構可進行拆卸維護。
5、優(yōu)選地，所述旋轉機構包括伸縮桿，所述伸縮桿的頂端固接有第二轉動柱，且第二轉動柱的頂端與加熱片的底面固接，所述第二轉動柱與升降柱的頂端轉動連接，所述伸縮桿的底端連接有第二電機。
6、在本技術方案中，旋轉機構用于驅動加熱片旋轉。
7、優(yōu)選地，所述導熱盤上設置有若干個均勻分布的導熱子片，且每個導熱子片分別位于相對應的加熱片上方。
8、在本技術方案中，若干個導熱子片進行分區(qū)導熱。
9、優(yōu)選地，所述鎖定組件包括鎖塊；所述鎖塊與開設在嵌塊側壁上的第一導孔滑動連接，所述嵌塊內開設有內槽，所述解鎖部安裝至內槽中。
10、優(yōu)選地，所述解鎖部包括第一楔形塊和第二楔形塊；所述第一楔形塊固接有連接架，所述連接架與鎖塊位于內槽中的一端固接，所述第一楔形塊上的斜面與第二楔形塊上的斜面貼合，所述第二楔形塊的頂部固接有壓桿，所述嵌塊的頂部開設有內槽頂部連通且為壓桿提供導向的第二導孔，且壓桿的頂端位于升降柱的下方。
11、優(yōu)選地，所述第一楔形塊的一側通過第二彈簧與內槽的一側壁彈性連接，所述內槽的頂面開設有凹孔，所述凹孔內設置有第三彈簧，所述壓桿通過第三彈簧與凹孔頂面彈性連接。
12、在本技術方案中，鎖定組件用于嵌塊安裝時的鎖定。
13、優(yōu)選地，所述清掃機構包括保護殼，所述保護殼固定安裝至基座的外側壁上，且保護殼和內腔之間設置有連通槽，所述連通槽內沿豎向滑動安裝有連接條，所述連接條的一端與導熱盤固接，且連接條的另一端與設置在保護殼內的傳動部連接，所述傳動部的輸出端連接有清掃刷，所述清掃刷與防塵網貼合。
14、優(yōu)選地，所述傳動部包括第二齒條；所述第二齒條與連接條端部固接，所述第二齒條嚙合連接有第一圓柱齒輪，所述第一圓柱齒輪的中部固接有第一轉軸，且第一轉軸轉動安裝至保護殼內，所述第一轉軸上固接有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪嚙合連接有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪固接有第二轉軸，所述第二轉軸轉動安裝至保護殼內，所述第二轉軸的底端延伸至保護殼外，且第二轉軸的底端固接有第二圓柱齒輪，所述第二圓柱齒輪嚙合連接有第一齒條，所述第一齒條通過連接桿與清掃刷固接。
15、優(yōu)選地，所述連接桿固接有導套，所述防塵網上方安裝有導向柱，所述導套滑動套接至導向柱上。
16、在本技術方案中，清掃機構用于防塵網的清掃。
17、優(yōu)選地，還包括接線機構；所述接線機構包括絕緣環(huán)，所述絕緣環(huán)的內圈上設置有導電圓環(huán)，所述導電圓環(huán)與圓套同軸設置，所述圓套底端固接有硬導線，且硬導線連接有導電滑座，所述導電滑座滑動安裝至導電圓環(huán)上，所述圓套內設置有軟導線，所述加熱片通過軟導線與硬導線連接。
18、在符合本領域常識的基礎上，上述各優(yōu)選條件，可任意組合，即得本發(fā)明各較佳實例。
19、本發(fā)明的積極進步效果在于：
20、上述提出的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，通過采用若干個獨立的加熱片，為靜電吸盤不同區(qū)域提供獨立的加熱，實現分區(qū)加熱溫控，同時加熱片連接升降機構，升降機構驅動加熱片與導熱盤貼合壓緊，以及導熱盤與內腔頂面貼合壓緊，實現加熱時熱量傳導到靜電吸盤本體上，在加熱后，升降機構驅動加熱片與導熱盤分離，導熱盤與內腔頂面分離，避免加熱片、導熱盤和內腔頂面在非加熱狀態(tài)下受壓，防止長期受壓，而產生損傷；進一步地，設置了旋轉機構，在加熱片進行加熱的過程中，使加熱片進行旋轉，方便熱量均勻的傳遞至需加熱的區(qū)域；更進一步地，設置安裝機構，且安裝機構中的鎖定部通過升降機構中的升降柱提供動力，實現解鎖或重新鎖定，為安裝機構的拆裝提供了便捷，方便安裝機構從基座上拆下，進而方便其上部件的檢修、維護；又設置散熱扇，為靜電吸盤加熱后提供快速散熱降溫，而散熱扇上的防塵網設置清掃機構，用于清掃，而清掃機構通過與導熱盤連接，其受導熱盤的上下移動提供驅動，使清掃機構自動運行，進行清掃，使得清掃機構無需外部動力和控制。
1.具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，包括靜電吸盤本體（1），所述靜電吸盤本體（1）設置有基座（101）；其特征在于，還包括：
2.如權利要求1所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述旋轉機構（9）包括伸縮桿，所述伸縮桿的頂端固接有第二轉動柱（903），且第二轉動柱（903）的頂端與加熱片（5）的底面固接，所述第二轉動柱（903）與升降柱（402）的頂端轉動連接，所述伸縮桿的底端連接有第二電機（904）。
3.如權利要求2所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：還包括接線機構（10）；所述接線機構（10）包括絕緣環(huán)（1001），所述絕緣環(huán)（1001）的內圈上設置有導電圓環(huán)（1002），所述導電圓環(huán)（1002）與圓套（901）同軸設置，所述圓套（901）底端固接有硬導線（1003），且硬導線（1003）連接有導電滑座（1004），所述導電滑座（1004）滑動安裝至導電圓環(huán)（1002）上，所述圓套（901）內設置有軟導線，所述加熱片（5）通過軟導線與硬導線（1003）連接。
4.如權利要求1所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述導熱盤（3）上設置有若干個均勻分布的導熱子片（303），且每個導熱子片（303）分別位于相對應的加熱片（5）上方。
5.如權利要求1所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述鎖定組件包括鎖塊（803）；所述鎖塊（803）與開設在嵌塊（801）側壁上的第一導孔（804）滑動連接，所述嵌塊（801）內開設有內槽（812），所述解鎖部安裝至內槽（812）中。
6.如權利要求5所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述解鎖部包括第一楔形塊（806）和第二楔形塊（808）；所述第一楔形塊（806）固接有連接架（805），所述連接架（805）與鎖塊（803）位于內槽（812）中的一端固接，所述第一楔形塊（806）上的斜面與第二楔形塊（808）上的斜面貼合，所述第二楔形塊（808）的頂部固接有壓桿（802），所述嵌塊（801）的頂部開設有內槽（812）頂部連通且為壓桿（802）提供導向的第二導孔（809），且壓桿（802）的頂端位于升降柱（402）的下方。
7.如權利要求6所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述第一楔形塊（806）的一側通過第二彈簧（807）與內槽（812）的一側壁彈性連接，所述內槽（812）的頂面開設有凹孔（811），所述凹孔（811）內設置有第三彈簧（810），所述壓桿（802）通過第三彈簧（810）與凹孔（811）頂面彈性連接。
8.如權利要求1所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述清掃機構（7）包括保護殼（702），所述保護殼（702）固定安裝至基座（101）的外側壁上，且保護殼（702）和內腔（102）之間設置有連通槽，所述連通槽內沿豎向滑動安裝有連接條（701），所述連接條（701）的一端與導熱盤（3）固接，且連接條（701）的另一端與設置在保護殼（702）內的傳動部連接，所述傳動部的輸出端連接有清掃刷（705），所述清掃刷（705）與防塵網（6）貼合。
9.如權利要求8所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述傳動部包括第二齒條（708）；所述第二齒條（708）與連接條（701）端部固接，所述第二齒條（708）嚙合連接有第一圓柱齒輪（710），所述第一圓柱齒輪（710）的中部固接有第一轉軸（709），且第一轉軸（709）轉動安裝至保護殼（702）內，所述第一轉軸（709）上固接有第一錐齒輪（711），所述第一錐齒輪（711）嚙合連接有第二錐齒輪（712），所述第二錐齒輪（712）固接有第二轉軸（713），所述第二轉軸（713）轉動安裝至保護殼（702）內，所述第二轉軸（713）的底端延伸至保護殼（702）外，且第二轉軸（713）的底端固接有第二圓柱齒輪（714），所述第二圓柱齒輪（714）嚙合連接有第一齒條（703），所述第一齒條（703）通過連接桿（704）與清掃刷（705）固接。
10.如權利要求9所述的具有加熱功能的陶瓷靜電吸盤，其特征在于：所述連接桿（704）固接有導套（707），所述防塵網（6）上方安裝有導向柱（706），所述導套（707）滑動套接至導向柱（706）上。