本公開內(nèi)容的一些實施例涉及在失配消除操作之后檢測字線和位線中的連接缺陷的半導(dǎo)體裝置及其測試方法。
背景技術(shù)：
1、通常，半導(dǎo)體裝置從半導(dǎo)體裝置外部接收電源電壓vdd和地電壓vss，以生成用于內(nèi)部操作的內(nèi)部電壓。用于半導(dǎo)體裝置的內(nèi)部操作的電壓包括：供應(yīng)至存儲電路的核心區(qū)域的核心電壓vcore、用于驅(qū)動字線或在過驅(qū)動期間使用的高電壓vpp、作為核心區(qū)域中的nmos晶體管的體電壓供應(yīng)的反向偏置電壓vbb、核心電壓vcore以及在核心區(qū)域中使用的預(yù)充電電壓vblp。
2、隨著技術(shù)的進步，連接到半導(dǎo)體裝置的存儲單元的位線對之間的間距變得非常窄，并且位線對的電壓電平根據(jù)相鄰的位線對的電壓電平的改變而變化，導(dǎo)致輸入數(shù)據(jù)和輸出數(shù)據(jù)的可靠性出現(xiàn)問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、根據(jù)本公開內(nèi)容的實施例，一種半導(dǎo)體裝置可以包括控制電路和感測放大器，所述控制電路被配置為：在測試模式期間在激活操作期間將字線去激活，生成匹配控制信號和感測放大器驅(qū)動信號，以及在測試模式期間在穩(wěn)定時段之后激活所述字線；所述感測放大器被配置為：在失配消除操作期間基于匹配控制信號來將位線和反相位線驅(qū)動至相同的電壓電平，并且在測試模式期間在穩(wěn)定時段之后激活所述字線時，基于感測放大器驅(qū)動信號而感測并放大位線與反相位線之間的電壓差。
2、根據(jù)本公開內(nèi)容的另一實施例，一種半導(dǎo)體裝置可以包括電壓控制電路和感測放大器，所述電壓控制電路被配置為：在失配消除操作期間，生成處于第一設(shè)定電平的第一供電電壓的電壓電平，生成處于第三設(shè)定電平的第二供電電壓的電壓電平，并且針對第一供電電壓和第二供電電壓順序地生成處于第二設(shè)定電平的電壓；所述感測放大器被配置為：接收所述第一供電電壓和所述第二供電電壓，在所述失配消除操作期間基于匹配控制信號和感測放大器驅(qū)動信號而將位線和反相位線驅(qū)動至相同的電壓電平，接收所述第一供電電壓和所述第二供電電壓，以及在測試模式期間在穩(wěn)定時段之后字線被激活時，感測并放大所述位線與所述反相位線之間的電壓差。
3、根據(jù)本公開內(nèi)容的另一實施例，一種測試方法可以包括：在第一激活操作期間進入測試模式并且將字線去激活；執(zhí)行失配消除，包括：禁止感測放大器驅(qū)動信號、生成處于第一設(shè)定電平的第一供電電壓、生成處于第三設(shè)定電平的第二供電電壓、以及將位線和反相位線驅(qū)動至相同的電壓電平；以及生成處于第二設(shè)定電平的第一供電電壓和第二供電電壓，在第二激活操作期間，當(dāng)字線被激活時，感測并放大位線與反相位線之間的電壓差，以及感測位線的電壓電平和反相位線的電壓電平以檢測字線與位線之間的連接缺陷。
4、根據(jù)本公開內(nèi)容的另一實施例，一種半導(dǎo)體裝置可以包括控制電路和感測放大器，所述控制電路被配置為：在測試模式期間從激活命令的輸入時間到突發(fā)命令的輸入時間將字線去激活，生成匹配控制信號和感測放大器驅(qū)動信號，以及在測試模式期間在穩(wěn)定時段之后字線被激活；所述感測放大器被配置為：在失配消除操作期間，基于匹配控制信號而將位線和反相位線驅(qū)動至相同的電壓電平，并且在測試模式期間在穩(wěn)定時段之后字線被激活時，基于感測放大器驅(qū)動信號而感測并放大位線與反相位線之間的電壓差。
5、根據(jù)本公開內(nèi)容的另一實施例，一種方法可以包括：在測試模式的第一操作期間，將字線去激活以及執(zhí)行失配消除，所述失配消除包括生成處于第一設(shè)定電平的第一供電電壓、生成處于第三設(shè)定電平的第二供電電壓、以及將位線和反相位線驅(qū)動至相同的電壓電平；以及在測試模式的第二操作期間，當(dāng)字線被激活時，感測并放大位線與反相位線之間的電壓差，以及感測位線的電壓電平和反相位線的電壓電平，以檢測字線與位線之間的連接缺陷。
1.一種半導(dǎo)體裝置，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路：在所述失配消除操作期間使能所述匹配控制信號，以及在感測操作期間使能所述感測放大器驅(qū)動信號。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路：在測試命令被輸入之后并響應(yīng)于第一激活命令的輸入而將所述字線去激活，以及響應(yīng)于第二激活命令的輸入而激活所述字線。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述感測放大器：在所述失配消除操作之后的所述穩(wěn)定時段期間阻斷所述位線與所述反相位線之間的連接。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路包括：
6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述感測放大器包括：
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體裝置，其中，在所述失配消除操作期間，所述第一供電電壓在被驅(qū)動至第一設(shè)定電平之后被驅(qū)動至第二設(shè)定電平，并且所述第二供電電壓在被驅(qū)動至第三設(shè)定電平之后被驅(qū)動至所述第二設(shè)定電平。
8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置，
9.一種半導(dǎo)體裝置，包括：
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述電壓控制電路：響應(yīng)于激活命令的輸入而將所述第一供電電壓的電壓電平從所述第二設(shè)定電平驅(qū)動至所述第一設(shè)定電平，并且將所述第二供電電壓的電壓電平從所述第二設(shè)定電平驅(qū)動至所述第三設(shè)定電平。
11.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，
12.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述電壓控制電路包括：
13.如權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述電壓生成電路包括：
14.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述感測放大器包括：
15.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，還包括控制電路，所述控制電路：在所述測試模式期間在激活操作期間將字線去激活并且生成匹配控制信號和感測放大器驅(qū)動信號，以及在所述測試模式期間在穩(wěn)定時段之后激活所述字線。
16.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路：在所述失配消除操作期間使能所述匹配控制信號，以及在感測操作期間使能所述感測放大器驅(qū)動信號。
17.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路：響應(yīng)于測試命令和第一激活命令的輸入而將所述字線去激活，以及響應(yīng)于第二激活命令的輸入而激活所述字線。
18.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路包括：
19.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，還包括：
20.一種測試方法，包括：
21.如權(quán)利要求20所述的測試方法，其中，響應(yīng)于輸入發(fā)起所述測試模式的測試命令和輸入發(fā)起所述第一激活操作的第一激活命令，所述字線被去激活。
22.如權(quán)利要求20所述的測試方法，其中，所述失配消除包括：
23.如權(quán)利要求20所述的測試方法，其中，在失配消除操作之后在穩(wěn)定時段期間，所述位線與所述反相位線之間的連接被阻斷。
24.如權(quán)利要求20所述的測試方法，還包括：
25.一種半導(dǎo)體裝置，包括：
26.如權(quán)利要求25所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述感測放大器：在所述失配消除操作之后開始的所述穩(wěn)定時段期間，阻斷所述位線與所述反相位線之間的連接。
27.如權(quán)利要求25所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述控制電路包括：
28.如權(quán)利要求25所述的半導(dǎo)體裝置，其中，所述感測放大器包括：
29.如權(quán)利要求28所述的半導(dǎo)體裝置，其中，在所述失配消除操作期間，所述第一供電電壓在被驅(qū)動至第一設(shè)定電平之后被驅(qū)動至第二設(shè)定電平，并且其中，所述第二供電電壓在被驅(qū)動至第三設(shè)定電平之后被驅(qū)動至所述第二設(shè)定電平。
30.如權(quán)利要求29所述的半導(dǎo)體裝置，
31.一種方法，包括：