本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件專用設(shè)備，具體涉及一種浮動(dòng)定子減震裝置及方法。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體貼裝設(shè)備、半導(dǎo)體封裝設(shè)備等半導(dǎo)體器件專用的高精度設(shè)備制造領(lǐng)域，為了提高設(shè)備的uph（每小時(shí)產(chǎn)量），高精度設(shè)備的驅(qū)動(dòng)部件的速度、加速度指標(biāo)往往設(shè)計(jì)得很高。以半導(dǎo)體封裝設(shè)備為例，半導(dǎo)體封裝設(shè)備中的鍵合頭由直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行高速直線運(yùn)動(dòng)，需要在短行程內(nèi)達(dá)到8g的加速度。而現(xiàn)有的半導(dǎo)體封裝設(shè)備，其直線電機(jī)的定子是直接固定在機(jī)臺(tái)上的，直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)鍵合頭高速運(yùn)動(dòng)時(shí)，直線電機(jī)的定子會(huì)受到很大的反作用力，導(dǎo)致與定子固定連接的機(jī)臺(tái)震動(dòng)，從而影響設(shè)備的動(dòng)作精度。

2、基于此，現(xiàn)有技術(shù)（申請(qǐng)公布號(hào)：cn102522356a）公開(kāi)了一種雙軸浮動(dòng)線性平臺(tái)，包括基座、固定在基座上的方向驅(qū)動(dòng)裝置、以及與方向驅(qū)動(dòng)裝置連接的工作臺(tái)，方向驅(qū)動(dòng)裝置中的驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子沿工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向的反方向運(yùn)動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)動(dòng)子推動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子受到的反作用力不直接作用在平臺(tái)的基座上，而是使定子朝向與工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向相反的反向滑動(dòng)，從而避免了對(duì)基座的沖擊，提高了線性平臺(tái)的定位精度和測(cè)量精度，能實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的定位精度。

3、上述現(xiàn)有技術(shù)雖然可以依靠定子的浮動(dòng)減少設(shè)備的震動(dòng)，但是在實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中還存在以下問(wèn)題：

4、現(xiàn)有技術(shù)在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子兩端設(shè)置阻尼裝置和柔性裝置，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子受到反作用力沿工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向的反方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，阻尼裝置和柔性裝置與基座碰撞，使定子的運(yùn)動(dòng)反向，控制定子的運(yùn)動(dòng)范圍。驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)子推動(dòng)工作臺(tái)作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，定子將在基座上作往復(fù)的震蕩運(yùn)動(dòng)，通過(guò)阻尼裝置和柔性裝置吸收能量，以進(jìn)一步減小定子對(duì)基座的沖擊。

5、現(xiàn)有技術(shù)通過(guò)阻尼裝置和柔性裝置實(shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振，一方面，由于阻尼裝置和柔性裝置的設(shè)計(jì)參數(shù)通常是固定的，難以適應(yīng)反作用力的變化，導(dǎo)致減震效果不穩(wěn)定；另一方面，隨著時(shí)間推移，阻尼裝置和柔性裝置可能發(fā)生老化，導(dǎo)致減震效果下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明意在提供一種浮動(dòng)定子減震裝置及方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)通過(guò)設(shè)計(jì)參數(shù)固定的阻尼裝置和柔性裝置實(shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振，難以適應(yīng)反作用力的變化，導(dǎo)致減震效果不穩(wěn)定的技術(shù)問(wèn)題。

2、為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

3、一種浮動(dòng)定子減震裝置，包括用于驅(qū)動(dòng)工作部件高速運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括機(jī)臺(tái)和驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子滑動(dòng)連接在機(jī)臺(tái)上，組成浮動(dòng)定子；還包括控制器和用于減少驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)震動(dòng)的減震機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)與控制器電連接，減震機(jī)構(gòu)包括與控制器電連接的減震直線電機(jī)和減震編碼器；減震直線電機(jī)的定子固定連接在機(jī)臺(tái)上，減震直線電機(jī)的動(dòng)子上連接有動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板，動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板與機(jī)臺(tái)滑動(dòng)連接、與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子固定連接，且動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)方向與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)定子的運(yùn)動(dòng)方向平行；減震編碼器固定連接在機(jī)臺(tái)上，動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板上對(duì)應(yīng)減震編碼器的位置沿動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置有減震光柵尺，減震編碼器與減震光柵尺配合，用于測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度。

4、一種浮動(dòng)定子減震方法，應(yīng)用上述浮動(dòng)定子減震裝置完成，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)工作部件高速運(yùn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到反作用力向工作部件運(yùn)動(dòng)方向的相反方向運(yùn)動(dòng)，減震編碼器與減震光柵尺配合測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度，并將位置及速度信號(hào)發(fā)送至控制器，控制器根據(jù)位置及速度信號(hào)控制減震直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子運(yùn)動(dòng)方向的相反方向運(yùn)動(dòng)，對(duì)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子施加與反作用力方向相反、大小相等的作用力，以抵消驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到的反作用力，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減震。

5、本技術(shù)方案相較于現(xiàn)有技術(shù)的有益效果：

6、1、當(dāng)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到反作用力而向工作部件運(yùn)動(dòng)方向的相反方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，本方案通過(guò)減震編碼器與減震光柵尺配合實(shí)時(shí)測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度，控制器根據(jù)測(cè)量結(jié)果控制減震直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子運(yùn)動(dòng)方向的相反方向運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子施加與反作用力方向相反、大小相等的作用力，以抵消驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到的反作用力，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減震；也即本方案可以根據(jù)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到的反作用力的方向和大小，及時(shí)調(diào)整減震直線電機(jī)的動(dòng)子對(duì)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子施加的作用力的方向和大小，使得作用力始終維持與反作用力的方向相反、大小相等，從而更好地適應(yīng)反作用力的變化，保證主動(dòng)減震的效果穩(wěn)定。

7、2、本方案通過(guò)增設(shè)減震直線電機(jī)，并將減震直線電機(jī)的動(dòng)子與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相連，通過(guò)減震直線電機(jī)的動(dòng)子帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子向反作用力的相反方向運(yùn)動(dòng)，以主動(dòng)抵消反作用力，相較于現(xiàn)有技術(shù)用于實(shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振的阻尼裝置和柔性裝置隨時(shí)間推移發(fā)生明顯老化的特點(diǎn)，減震直線電機(jī)本身隨時(shí)間推移發(fā)生老化并不明顯，只要定期檢查控制系統(tǒng)，確?？刂葡到y(tǒng)工作可靠，即可有效保證減震效果。

8、3、本方案通過(guò)減震編碼器和減震光柵尺配合，測(cè)量動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)位置及速度，從而得到驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子的運(yùn)動(dòng)位置及速度，減震編碼器和減震光柵尺為非接觸式配合，可以減少機(jī)械磨損，提高使用壽命；并且兩者能夠在高速運(yùn)動(dòng)中保持良好的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，提供實(shí)時(shí)的位置反饋，確?？刂破髂軌蚣皶r(shí)調(diào)整減震直線電機(jī)的電磁力方向和大小，使得減震直線電機(jī)的動(dòng)子作用在驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子上的作用力與其受到的反作用力的方向相反、大小相等，從而有效抵消反作用力，實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減震。

9、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述機(jī)臺(tái)上設(shè)置有第一直線導(dǎo)軌，第一直線導(dǎo)軌的滑塊上設(shè)置有動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子與動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板連接；機(jī)臺(tái)上還設(shè)置有第二直線導(dǎo)軌，第二直線導(dǎo)軌的滑塊上設(shè)置有運(yùn)動(dòng)連接板，運(yùn)動(dòng)連接板用于安裝工作部件，驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子與運(yùn)動(dòng)連接板連接。

10、有益效果：本方案設(shè)置的第一直線導(dǎo)軌不僅能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子與機(jī)臺(tái)的滑動(dòng)連接，形成浮動(dòng)定子，減少發(fā)作用力造成的機(jī)臺(tái)震動(dòng)，還能在驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)對(duì)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子進(jìn)行導(dǎo)向，保持驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子沿預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，避免與其他結(jié)構(gòu)相撞；動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板為第一直線導(dǎo)軌的滑塊與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子之間的連接提供充足的連接位置。

11、本方案在驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子上連接運(yùn)動(dòng)連接板，可以為工作部件與驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子之間的連接提供充足的連接位置，使得驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子能夠帶著運(yùn)動(dòng)連接板及其上的工作部件進(jìn)行高速直線運(yùn)動(dòng)；通過(guò)第二直線導(dǎo)軌將運(yùn)動(dòng)連接板滑動(dòng)連接在機(jī)臺(tái)上，既可以保證運(yùn)動(dòng)連接板以及安裝在其上的工作部件可以在機(jī)臺(tái)上運(yùn)動(dòng)，又可以保證兩者沿預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，避免與其他結(jié)構(gòu)相撞。

12、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述機(jī)臺(tái)上還設(shè)置有第三直線導(dǎo)軌，第三直線導(dǎo)軌的滑塊與動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板連接。

13、有益效果：本方案設(shè)置的第三直線導(dǎo)軌不僅能夠?qū)崿F(xiàn)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板與機(jī)臺(tái)的滑動(dòng)連接，還能在動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板相對(duì)于機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)對(duì)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板進(jìn)行導(dǎo)向，保持動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板沿預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，避免與其他結(jié)構(gòu)相撞。此外，第三直線導(dǎo)軌還能在底部對(duì)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板進(jìn)行支撐，避免僅靠減震直線電機(jī)的動(dòng)子懸空連接動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板，有利于提高動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的穩(wěn)定性，從而保證減震直線電機(jī)作用在驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)定子上的作用力穩(wěn)定，以穩(wěn)定抵消驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到的反作用力，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定減震效果。

14、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述第二直線導(dǎo)軌的兩端相對(duì)設(shè)置有第一限位塊和油壓緩沖器，運(yùn)動(dòng)連接板位于第一限位塊和油壓緩沖器之間；第三直線導(dǎo)軌的兩端相對(duì)設(shè)置有兩個(gè)第二限位塊，動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板位于兩個(gè)第二限位塊之間。

15、有益效果：本方案通過(guò)相對(duì)設(shè)置的第一限位塊和油壓緩沖器將運(yùn)動(dòng)連接板的運(yùn)動(dòng)位置限制在第二直線導(dǎo)軌上，為運(yùn)動(dòng)連接板劃定安全的運(yùn)動(dòng)范圍，從而為安裝在運(yùn)動(dòng)連接板上的工作部件劃定安全的運(yùn)動(dòng)范圍，避免驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子超出限定行程而與其他結(jié)構(gòu)相撞，保護(hù)設(shè)備其他部件。

16、本方案通過(guò)兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的第二限位塊將動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)位置限制在第三直線導(dǎo)軌上，為動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板劃定安全的運(yùn)動(dòng)范圍，從而為與動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板連接的驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子劃定安全的運(yùn)動(dòng)范圍，避免驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子運(yùn)動(dòng)范圍過(guò)大而與其他結(jié)構(gòu)相撞。

17、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述機(jī)臺(tái)上對(duì)應(yīng)油壓緩沖器處設(shè)置有與控制電連接的第一傳感器，第一傳感器用于限定運(yùn)動(dòng)連接板向靠近油壓緩沖器方向運(yùn)動(dòng)的極限位置；機(jī)臺(tái)上對(duì)應(yīng)其中一個(gè)第二限位塊處設(shè)置有與控制器電連接的第二傳感器，第二傳感器用于減震直線電機(jī)的動(dòng)子回零。

18、有益效果：在運(yùn)動(dòng)連接板向靠近油壓緩沖器方向運(yùn)動(dòng)的速度大于向靠近第一限位塊方向運(yùn)動(dòng)的速度的情況下，若運(yùn)動(dòng)連接板與油壓緩沖器相撞，可以通過(guò)油壓緩沖器的液壓系統(tǒng)有效吸收動(dòng)能，使得運(yùn)動(dòng)連接板平穩(wěn)減速并停止，減少機(jī)臺(tái)因碰撞產(chǎn)生的震動(dòng)。并且本方案在機(jī)臺(tái)上對(duì)應(yīng)油壓緩沖器的位置設(shè)置第一傳感器，通過(guò)第一傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)動(dòng)連接板向靠近油壓緩沖器方向運(yùn)動(dòng)的位置，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)動(dòng)連接板是否接近該方向的運(yùn)動(dòng)極限位置，從而及時(shí)發(fā)送信號(hào)給控制器，以便控制器控制驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子減速或停止，防止運(yùn)動(dòng)連接板與油壓緩沖器發(fā)生劇烈碰撞。

19、本方案在機(jī)臺(tái)上對(duì)應(yīng)其中一個(gè)第二限位塊的位置設(shè)置第二傳感器，當(dāng)設(shè)備完成一個(gè)階段的生產(chǎn)時(shí)，即驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)停止驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)連接板及其上的工作部件高速運(yùn)動(dòng)時(shí)，可以通過(guò)第二傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板與該第二限位塊之間的距離，當(dāng)動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板與該第二限位塊之間的距離恢復(fù)至預(yù)設(shè)距離時(shí)，即可完成動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板的回零，從而完成減震直線電機(jī)的動(dòng)子回零。

20、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板上靠近運(yùn)動(dòng)連接板的一側(cè)沿動(dòng)定子運(yùn)動(dòng)板的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置有驅(qū)動(dòng)光柵尺，運(yùn)動(dòng)連接板上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)光柵尺的位置設(shè)置有與控制器電連接的驅(qū)動(dòng)主編碼器，驅(qū)動(dòng)主編碼器與驅(qū)動(dòng)光柵尺配合，用于測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子和定子兩者的相對(duì)位置，識(shí)別兩者的電角度。

21、有益效果：本方案通過(guò)驅(qū)動(dòng)主編碼器與驅(qū)動(dòng)光柵尺配合，可以測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子和定子兩者的相對(duì)位置，識(shí)別兩者的電角度，從而防止驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子帶著運(yùn)動(dòng)連接板及安裝在運(yùn)動(dòng)連接板上的工作部件在高速運(yùn)動(dòng)過(guò)程中飛車與其他部件相撞，保證工作部件在驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子帶動(dòng)下順利完成工作動(dòng)作。

22、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述機(jī)臺(tái)上沿運(yùn)動(dòng)連接板的運(yùn)動(dòng)方向設(shè)置有銦鋼尺，運(yùn)動(dòng)連接板上對(duì)應(yīng)銦鋼尺的位置設(shè)置有與控制器電連接的驅(qū)動(dòng)副編碼器，驅(qū)動(dòng)副編碼器與銦鋼尺配合，用于測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度；銦鋼尺的中心位置設(shè)置原點(diǎn)，用于驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子回零。

23、有益效果：本方案通過(guò)驅(qū)動(dòng)副編碼器與銦鋼尺配合，在驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)連接板高速運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，跟隨運(yùn)動(dòng)連接板一起高速運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)副編碼器在運(yùn)動(dòng)全行程均能夠收到信號(hào)反饋，有效測(cè)量運(yùn)動(dòng)連接板相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度，從而測(cè)量驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置及速度，確保符合設(shè)備的設(shè)計(jì)指標(biāo)。

24、此外，本方案將銦鋼尺的中心位置設(shè)置為原點(diǎn)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)副編碼器的位置與銦鋼尺的原點(diǎn)位置相對(duì)時(shí)，即完成運(yùn)動(dòng)連接板的回零，從而完成驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子回零，可以通過(guò)簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)便捷實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的動(dòng)子回零。

25、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述減震機(jī)構(gòu)還包括兩根減震彈簧，兩根減震彈簧連接在機(jī)臺(tái)和驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子之間，且兩根減震彈簧的軸線與驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子運(yùn)動(dòng)方向平行，其中一根減震彈簧被拉伸時(shí)，另一根減震彈簧被壓縮。

26、有益效果：本方案在機(jī)臺(tái)和驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子之間連接兩根減震彈簧，當(dāng)驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受到反作用力而相對(duì)于機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，其中一根減震彈簧被拉伸，而另一根減震彈簧則被壓縮；一方面，減震彈簧可以吸收一部分反作用力，減小驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子相對(duì)于機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)距離，從而減小減震直線電機(jī)需要抵消的反作用力，降低減震直線電機(jī)的工作強(qiáng)度；另一方面，兩根減震彈簧可以限制驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子的運(yùn)動(dòng)范圍，避免驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子超范圍運(yùn)動(dòng)而與其他結(jié)構(gòu)相撞，并且可以利用減震彈簧的彈力將驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子向與反作用力相反的方向推，輔助驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子復(fù)位。

27、優(yōu)選的，作為一種改進(jìn)，所述減震機(jī)構(gòu)還包括配重塊，配重塊固定連接在動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板上。

28、有益效果：本方案在動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板上固定連接配重塊，可以增加動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板以及與動(dòng)子運(yùn)動(dòng)板相連的驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子的重力，從而減小驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)的定子受反作用力而相對(duì)于機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)的距離，達(dá)到減震的效果，并減小減震直線電機(jī)的工作強(qiáng)度。