本技術(shù)涉及真空泵，具體涉及轉(zhuǎn)子組件及真空泵。
背景技術(shù)：
1、干式真空泵是指不使用油或液體，而通過小間隙進(jìn)行密封的非接觸式真空泵，是一種能夠獲得潔凈真空的設(shè)備，具有抽速大、壽命長、真空度高、節(jié)能同時(shí)潤滑介質(zhì)與工藝介質(zhì)相隔離的優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器、電子工業(yè)和化工行業(yè)。在半導(dǎo)體及光伏等領(lǐng)域的鍍膜工藝過程中，通常伴隨著大量的粉塵，無論是吸入型的粉塵，亦或是未反應(yīng)完全的尾氣在真空泵腔室內(nèi)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而產(chǎn)生的副產(chǎn)物粉塵，即使有惰性氣體的不斷吹掃，但泵體的內(nèi)部仍然會(huì)階段性的累計(jì)粉塵，使得泵體內(nèi)部的轉(zhuǎn)子外形尺寸增大，會(huì)使得轉(zhuǎn)子之間或轉(zhuǎn)子與定子之間發(fā)生剮蹭，從而影響泵的正常運(yùn)行。
2、目前，現(xiàn)有的真空泵為了降低粉塵的影響，通常會(huì)在轉(zhuǎn)子的周面上沿著周向間隔設(shè)置集塵槽結(jié)構(gòu)，為了保證集塵槽結(jié)構(gòu)的效果，每個(gè)集塵槽結(jié)構(gòu)均為沿軸向延伸的長條形，此種形式的集塵槽結(jié)構(gòu)雖然能夠降低粉塵的影響，但是同樣也會(huì)降低轉(zhuǎn)子配合時(shí)的密封性能，導(dǎo)致泵體的真空度較差。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種轉(zhuǎn)子組件及真空泵，以解決現(xiàn)有轉(zhuǎn)子的集塵結(jié)構(gòu)導(dǎo)致真空泵的真空度較差的問題。
2、第一方面，本實(shí)用新型提供了一種轉(zhuǎn)子組件，應(yīng)用于真空泵，轉(zhuǎn)子組件包括至少一對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)配合的轉(zhuǎn)子，每個(gè)轉(zhuǎn)子包括：主體，具有至少一段與相鄰的轉(zhuǎn)子配合的第一周向面，周向面包括交替設(shè)置的集塵段和配合段，每個(gè)集塵段沿著主體的軸向均間隔設(shè)置有多個(gè)集塵槽，其中一個(gè)轉(zhuǎn)子的集塵段適于與另一個(gè)轉(zhuǎn)子對(duì)應(yīng)的配合段配合。
3、有益效果：在集塵段上沿著主體的軸向間隔設(shè)置多個(gè)集塵槽，原本較大的單個(gè)槽體變?yōu)榱硕鄠€(gè)較小的槽體，由于集塵槽之間具有間隔的原因，此時(shí)集塵段上多個(gè)集塵槽的槽口面積相較于原有單個(gè)槽體的面積更小，當(dāng)相鄰轉(zhuǎn)子的配合段與當(dāng)前的集塵段配合時(shí)，降低了輸入腔和輸出腔的連通面積，因此能夠有效減小對(duì)于真空泵內(nèi)部真空度的影響，可更好的平衡集塵槽集塵效果以及對(duì)于泵體抽氣性能的影響，有效解決了現(xiàn)有轉(zhuǎn)子的集塵結(jié)構(gòu)導(dǎo)致真空泵的真空度較差的問題。
4、在一種可選的實(shí)施方式中，集塵槽的槽壁為連續(xù)的曲面。
5、有益效果：更有利于槽體內(nèi)部收集的粉塵沿著曲面的內(nèi)壁脫落，能夠有效避免積塵情況。
6、在一種可選的實(shí)施方式中，集塵槽的內(nèi)壁為弧形曲面。
7、有益效果：具有球形面內(nèi)壁的集塵槽的深度較淺，可在減少集塵槽開口面積的基礎(chǔ)上進(jìn)一步減少集塵槽的深度，進(jìn)而在兩個(gè)轉(zhuǎn)子配合時(shí)，減少輸入腔和輸出腔的連通面積。
8、在一種可選的實(shí)施方式中，集塵槽內(nèi)壁為球面，球面半徑為6～18mm。
9、有益效果：結(jié)構(gòu)簡單可靠，此種形式的集塵槽更利于加工作業(yè)，能夠降低加工難度與加工時(shí)間。
10、在一種可選的實(shí)施方式中，真空泵還包括定子，主體還具有至少一段與定子配合的第二周向面，第二周向面上間隔設(shè)置有多個(gè)集塵槽。
11、有益效果：此處的集塵槽可收集定子與轉(zhuǎn)子的配合面之間的粉塵，提升轉(zhuǎn)子工作可靠性。
12、在一種可選的實(shí)施方式中，位于第二周向面的集塵槽呈陣列設(shè)置。
13、有益效果：結(jié)構(gòu)簡單且規(guī)整程度高，減少應(yīng)力集中現(xiàn)象的同時(shí)更便于加工制造。
14、在一種可選的實(shí)施方式中，第一周向面的集塵槽沿著軸向呈多列設(shè)置。
15、有益效果：此種形式的集塵槽更便于加工制造，可有效降低制造難度。
16、在一種可選的實(shí)施方式中，對(duì)應(yīng)配合的兩個(gè)轉(zhuǎn)子的第一周向面上的多列集塵槽錯(cuò)位設(shè)置。
17、有益效果：可以減輕轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中進(jìn)一步減少集塵槽的重疊程度，減少對(duì)真空泵抽氣性能的影響。
18、在一種可選的實(shí)施方式中，主體還具有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)端面，端面上設(shè)置有若干集塵槽。
19、有益效果：進(jìn)一步提升主體端面的集塵能力，保證集塵效果。
20、第二方面，本實(shí)用新型還提供了一種真空泵，其包括：定子，內(nèi)部具有容納腔；上述的轉(zhuǎn)子組件，設(shè)置于容納腔中，轉(zhuǎn)子組件與定子配合并分別形成輸入腔和輸出腔。
21、有益效果：轉(zhuǎn)子上設(shè)計(jì)有多個(gè)集塵槽，集塵槽可收集粉塵，能夠減輕吸入氣體中含有的固體或液體顆粒對(duì)轉(zhuǎn)子及真空泵的損傷，同時(shí)集塵槽的結(jié)構(gòu)還能夠減少對(duì)真空泵抽氣性能的影響，有利于粉塵顆粒在外力作用下從轉(zhuǎn)子上剝離，有效提高泵的壽命。
22、在一種可選的實(shí)施方式中，轉(zhuǎn)子組件的轉(zhuǎn)子為爪式、螺桿式以及葉形中的一種。
1.一種轉(zhuǎn)子組件，應(yīng)用于真空泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子組件包括至少一對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)配合的轉(zhuǎn)子，每個(gè)所述轉(zhuǎn)子包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，所述集塵槽(2)的槽壁為連續(xù)的曲面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，所述集塵槽(2)的內(nèi)壁為弧形曲面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，所述集塵槽(2)內(nèi)壁為球面，所述球面半徑為6～18mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，所述真空泵還包括定子(5)，所述主體還具有至少一段與所述定子(5)配合的第二周向面(3)，所述第二周向面(3)上間隔設(shè)置有多個(gè)所述集塵槽(2)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，位于所述第二周向面(3)的所述集塵槽(2)呈陣列設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，所述第一周向面(1)的所述集塵槽(2)沿著軸向呈多列設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，對(duì)應(yīng)配合的兩個(gè)所述轉(zhuǎn)子的所述第一周向面(1)上的多列所述集塵槽(2)錯(cuò)位設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的轉(zhuǎn)子組件，其特征在于，所述主體還具有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)端面(4)，所述端面(4)上設(shè)置有若干所述集塵槽(2)。
10.一種真空泵，其特征在于，包括：
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空泵，其特征在于，所述轉(zhuǎn)子組件的轉(zhuǎn)子為爪式、螺桿式以及葉形中的一種。