本公開涉及用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
1、在半導(dǎo)體工廠內(nèi)，物品由自動運(yùn)送系統(tǒng)移動。自動運(yùn)送系統(tǒng)例如包括高架式起重運(yùn)送機(jī)(overhead?hoist?transport，oht)和高架式穿梭機(jī)(overhead?shuttle，ohs)。
2、同時，塔式升降機(jī)用于在樓層之間移動運(yùn)送物品(transport?articles)?？梢孕枰缴灯鱽磉\(yùn)送各種物品(例如，晶圓儲存容器和標(biāo)線儲存容器)，并且可以根據(jù)物品的類型改變尺寸和夾持方法。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本公開的方面提供了用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠運(yùn)送各種類型的物品并且包括以緊湊尺寸(compact?size)實現(xiàn)的運(yùn)送機(jī)械手。
2、本發(fā)明的目的不限于此，并且本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將從以下描述中清楚地理解未提及的其他方面。
3、根據(jù)本公開的方面，提供了用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：軌道，該軌道安裝成沿上下方向延伸；升降設(shè)備，該升降設(shè)備配置為沿軌道上升和下降；托架設(shè)備(carriagedevice)，該托架設(shè)備安裝在升降設(shè)備上、并且配置為安裝具有不同高度的第一類型物品或第二類型物品；控制設(shè)備，該控制設(shè)備控制升降設(shè)備和托架設(shè)備中的至少一者，其中，托架設(shè)備包括：基部；支承部，該支承部安裝在基部上并且相對于基部沿上下方向移動；以及夾持器，該夾持器安裝在支承部的下部上以隨支承部的移動而移動、并且配置為夾持第一類型物品的第一頂凸緣和第二類型物品的第二頂凸緣，并且控制設(shè)備根據(jù)夾持器是否夾持第一類型物品或第二類型物品來不同地調(diào)節(jié)支承部與基部之間的距離。
4、根據(jù)本公開的另一方面，提供了用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：軌道，該軌道安裝成沿上下方向延伸；升降設(shè)備，該升降設(shè)備配置為沿軌道上升和下降；機(jī)械手，該機(jī)械手安裝在升降設(shè)備上；以及控制設(shè)備，該控制設(shè)備控制升降設(shè)備和機(jī)械手中的至少一者，其中，該機(jī)械手包括沿上下方向設(shè)置的第一托架設(shè)備和第二托架設(shè)備，該第一托架設(shè)備通過連接到所述升降設(shè)備的第一驅(qū)動器執(zhí)行旋動運(yùn)動(turn?motion)，第一托架設(shè)備包括：基部；支承部，支承部安裝在基部上；第二驅(qū)動器，該第二驅(qū)動器安裝在基部上并沿上下方向移動支承部；第三驅(qū)動器，該第三驅(qū)動器安裝在基部上并沿向前和向后方向移動支承部和第二驅(qū)動器；以及夾持器，該夾持器安裝在支承部的下部并隨支承部的移動而移動，該夾持器配置為夾持第一類型物品的第一頂凸緣和第二類型物品的第二頂凸緣，該支承部配置為支承第三類型物品的第一底表面，該控制設(shè)備維持：在夾持器夾持第一類型物品的情況下，第一類型物品的底表面與基部之間的第一距離在第一安全距離內(nèi)，并且在夾持器夾持第二類型物品的情況下，第二類型物品的底表面與基部之間的第二距離在第一安全距離內(nèi)，并且第一距離與第二距離彼此相同。
5、根據(jù)本公開的另一個方面，提供了用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：第一軌道，該第一軌道安裝為沿上下方向延伸；升降設(shè)備，該升降設(shè)備配置為沿所述第一軌道上升和下降；第二軌道，該第二軌道設(shè)置在第一軌道的第一側(cè)上并沿水平方向安裝；第三軌道，該第三軌道設(shè)置在第一軌道的第二側(cè)上并沿水平方向安裝；托架設(shè)備，該托架設(shè)備安裝在升降設(shè)備上、并且配置為安裝具有不同高度的第一類型物品和第二類型物品；控制設(shè)備，該控制設(shè)備控制升降設(shè)備和托架設(shè)備中的至少一者，其中，托架設(shè)備包括：基部；支承部，該支承部安裝在基部上并且相對于基部沿上下方向移動；以及夾持器，該夾持器安裝在支承部的下部并隨支承部的移動而移動，該夾持器配置為夾持第一類型物品的第一頂凸緣和第二類型物品的第二頂凸緣，該支承部配置為支承第三類型物品的底表面，托架設(shè)備：沿第一軌道移動并將第一類型物品運(yùn)送到第二軌道，并且沿第一軌道移動并將第二類型物品運(yùn)送到第三軌道，控制設(shè)備維持：在托架設(shè)備運(yùn)送第一類型物品的情況下，第一類型物品的底表面與基部之間的第一距離在第一安全距離內(nèi)，并且在托架設(shè)備運(yùn)送第二類型物品的情況下，第二類型物品的底表面與基部之間的第二距離在第一安全距離內(nèi)，并且第一距離與第二距離彼此相同。
6、其他示例性實施方案的細(xì)節(jié)包括在詳細(xì)描述和附圖中。
1.一種用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述控制設(shè)備維持：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述第一距離和所述第二距離基本上相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述控制設(shè)備將所述支承部的高度調(diào)節(jié)到第一高度、向前移動所述支承部、使所述夾持器夾持所述第一類型物品并且然后向后移動所述支承部，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備還包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備配置為安裝與所述第一類型物品和所述第二類型物品不同的第三類型物品，并且
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備還包括防墜落部，所述防墜落部安裝在所述基部上并且包括第一構(gòu)件和第二構(gòu)件，所述第一構(gòu)件在所述支承部的兩側(cè)上沿上下方向延伸，所述第二構(gòu)件連接到所述第一構(gòu)件并橫跨所述支承部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備配置為安裝具有不同高度的第三類型物品或第四類型物品，并且所述托架設(shè)備配置為使得所述支承部的所述上表面支承所述第三類型物品的底表面或所述第四類型物品的底表面，并且
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述第三距離與所述第四距離基本上相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)還包括：
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)還包括第三驅(qū)動器，所述第三驅(qū)動器安裝在所述基部上并配置為沿上下方向移動所述支承部，
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備還包括防墜落部，所述防墜落部安裝在所述基部上并在所述支承部的兩側(cè)上沿上下方向延伸。
13.一種用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，所述第一托架設(shè)備還包括防墜落部，所述防墜落部安裝在所述基部上并且包括第一構(gòu)件和第二構(gòu)件，所述第一構(gòu)件在所述支承部的兩側(cè)上沿上下方向延伸，所述第二構(gòu)件連接到所述第一構(gòu)件并安裝為橫跨所述支承部。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，所述支承部還配置為支承第四類型物品的第二底表面，
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，所述第一類型物品是極紫外光光罩傳送盒euvpod，
17.一種用于運(yùn)送物品的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備配置為安裝不同于所述第一類型物品至所述第三類型物品的第四類型物品，并且
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中，所述托架設(shè)備還包括防墜落部，所述防墜落部安裝在所述基部上并且包括第一構(gòu)件和第二構(gòu)件，所述第一構(gòu)件在所述支承部的兩側(cè)上沿上下方向延伸，所述第二構(gòu)件連接到所述第一構(gòu)件并安裝為橫跨所述支承部。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述控制設(shè)備維持：