本發(fā)明與一種非接觸手持搬運(yùn)裝置有關(guān)，尤其是指一種利用伯努利原理的非接觸手持搬運(yùn)裝置。

背景技術(shù)：

1、過去發(fā)表過許多搬運(yùn)裝置，從鑷子、真空吸筆，以至油壓拖板車或堆高機(jī)等等，依據(jù)不同用途研發(fā)出許多的裝置。近年來發(fā)展出利用伯努利原理的非接觸手持搬運(yùn)裝置，所述裝置靠近并將氣體吹向物體后，通過氣壓的改變使所述物體逐漸向所述裝置趨近，其優(yōu)勢(shì)在于可以在不接觸到大部分的物體表面的情況下搬運(yùn)。但為了使氣體能均勻吹拂于物體上，氣孔數(shù)量多而氣流通道復(fù)雜，且所述吸附面必須與物體一樣大，例如欲搬運(yùn)8英寸的晶圓時(shí)，則需設(shè)計(jì)具有8英寸吸附面的非接觸手持搬運(yùn)裝置，并仍須在所述裝置外圍設(shè)置一或多個(gè)接腳或檔板，以使因受吹拂而偏移的物體靠抵上而固定，然而在接觸過程中，依然有可能造成物體因接觸而產(chǎn)生的損壞或污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種能完全不接觸到所述物體而能進(jìn)行搬移的非接觸手持搬運(yùn)裝置。

2、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，適用于搬運(yùn)例如為晶圓的待搬運(yùn)物體，包含主體結(jié)構(gòu)。

3、所述主體結(jié)構(gòu)包括第一表面、相反于所述第一表面的第二表面，及連接所述第一表面與所述第二表面的外緣的外緣面，并形成至少一氣孔槽及至少一連通所述氣孔槽的氣流通道。所述氣孔槽由所述第一表面及所述外緣面凹陷形成，并具有與所述第一表面及所述外緣面上相連的開口，且所述氣孔槽具有連接所述第一表面并間隔于所述外緣面的出氣槽面。所述氣流通道的一端延伸至所述出氣槽面以連通所述氣孔槽。

4、當(dāng)待搬運(yùn)物體鄰近所述第一表面時(shí)，從所述氣流通道流向所述氣bcpi-230536第2/4頁(yè)

5、孔槽的空氣會(huì)從所述開口流出并在所述主體結(jié)構(gòu)及所述待搬運(yùn)物體間流動(dòng)，以在對(duì)應(yīng)所述氣孔槽的位置產(chǎn)生白努利作用并形成吸附區(qū)以支撐所述待搬運(yùn)物體。

6、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，所述氣孔槽的寬度從所述出氣槽面朝所述外緣面的方向漸增。

7、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，所述氣孔槽在平行于所述第一表面的截面形狀呈v形，以穩(wěn)定且均勻的氣流形成所述吸附區(qū),抬升所述待搬運(yùn)物體。

8、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，所述主體結(jié)構(gòu)呈扁平長(zhǎng)條狀，且形成多個(gè)氣孔槽及多條氣流通道，所述氣孔槽在所述外緣面的長(zhǎng)度方向的兩相反側(cè)呈對(duì)稱分布，以使空氣均勻地流出。

9、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，所述氣流通道具有開設(shè)于所述第二表面的延伸段、由所述延伸段往所述第一表面延伸的盲孔段，及由所述盲孔段延伸至所述出氣槽面的出氣段。

10、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，還包含設(shè)置于所述第二表面且覆蓋所述延伸段及所述盲孔段的通道屏蔽。

11、本發(fā)明所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，所述氣流通道還具有由所述延伸段貫穿至所述第一表面的貫孔段，所述非接觸手持搬運(yùn)裝置還包含設(shè)置于所述第一表面且覆蓋所述貫孔段的氣孔屏蔽。

12、本發(fā)明的有益效果在于：使用伯努利原理且通過所述氣孔槽使氣流均勻分布，以達(dá)成在完全不接觸所述待搬運(yùn)物體的情況下進(jìn)行搬運(yùn)的功效。

技術(shù)特征：

1.一種非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：包含：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：所述氣孔槽的寬度從所述出氣槽面朝所述外緣面的方向漸增。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：所述氣孔槽在平行于所述第一表面的截面形狀呈v形，以穩(wěn)定且均勻的氣流形成所述吸附區(qū),抬升所述待搬運(yùn)物體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：所述主體結(jié)構(gòu)呈扁平長(zhǎng)條狀，且形成多個(gè)氣孔槽及多條氣流通道，所述氣孔槽在所述外緣面的長(zhǎng)度方向的兩相反側(cè)呈對(duì)稱分布，以使空氣均勻地流出。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：所述氣流通道具有開設(shè)于所述第二表面的延伸段、由所述延伸段往所述第一表面延伸的盲孔段，及由所述盲孔段延伸至所述出氣槽面的出氣段。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：所述非接觸手持搬運(yùn)裝置還包含置于所述第二表面且覆蓋所述延伸段及所述盲孔段的通道屏蔽。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的非接觸手持搬運(yùn)裝置，其特征在于：所述氣流通道還具有由所述延伸段貫穿至所述第一表面的貫孔段，所述非接觸手持搬運(yùn)裝置還包含設(shè)置于所述第一表面且覆蓋所述貫孔段的氣孔屏蔽。

技術(shù)總結(jié)
一種非接觸手持搬運(yùn)裝置，包含主體結(jié)構(gòu)。所述主體結(jié)構(gòu)包括第一表面、第二表面，及連接所述第一表面與所述第二表面的外緣面，并形成至少一氣孔槽及至少一連通所述氣孔槽的氣流通道。所述氣孔槽由所述第一表面及所述外緣面凹陷形成，并具有與所述第一表面及所述外緣面上相連的開口，且所述氣孔槽具有連接所述第一表面的出氣槽面，所述氣流通道的一端延伸至所述出氣槽面以連通所述氣孔槽。當(dāng)待搬運(yùn)物體鄰近所述第一表面時(shí)，從所述氣流通道流向所述氣孔槽的空氣會(huì)從所述開口流出并在所述主體結(jié)構(gòu)及所述待搬運(yùn)物體間流動(dòng)，以在對(duì)應(yīng)所述氣孔槽的位置產(chǎn)生伯努利作用并形成吸附區(qū)以支撐所述待搬運(yùn)物體。

技術(shù)研發(fā)人員：馮毅之,拉杰·庫(kù)馬爾·席伐拉,陳俊良,廖振宇,王嘉淳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：富宸材料國(guó)際股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/6/30