本發(fā)明涉及具有壓力檢測(cè)電路的壓力傳感器元件。
背景技術(shù)：
1、作為壓力傳感器，已知有一種傳感器，其在被稱(chēng)為管座(stem)的有底筒狀的金屬構(gòu)件的外底面，經(jīng)由絕緣膜形成壓力檢測(cè)電路。這種壓力傳感器使用鉚接構(gòu)件等將管座固定于配管的端部而進(jìn)行使用，即使在高溫高壓環(huán)境下，也能夠發(fā)揮良好的耐久性(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1等)。
2、但是，使用有底筒狀的管座的現(xiàn)有的壓力傳感器，能夠高精度地形成管座的尺寸存在極限，另外，需要使用鉚接構(gòu)件等進(jìn)行固定，因此，以小型化的觀(guān)點(diǎn)存在問(wèn)題。
3、另一方面，還提出有不使用管座的壓力傳感器元件，但這種壓力傳感器元件也需要使用外框等框體來(lái)夾持金屬基體以進(jìn)行固定，因此，針對(duì)包含固定構(gòu)件的傳感器整體的尺寸，以小型化的觀(guān)點(diǎn)也存在問(wèn)題(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2等)。
4、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
5、專(zhuān)利文獻(xiàn)
6、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2001-324402號(hào)公報(bào)
7、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平6-137979號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、發(fā)明所要解決的問(wèn)題
2、本發(fā)明是鑒于這種實(shí)際情況而做出的，提供適于小型化的傳感器元件。
3、用于解決問(wèn)題的技術(shù)手段
4、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的壓力傳感器元件具有：
5、金屬板；
6、絕緣膜，其以在作為所述金屬板的一個(gè)表面的第一表面形成所述第一表面被覆蓋的覆蓋區(qū)域和所述第一表面露出的露出區(qū)域的方式設(shè)置；以及
7、壓力檢測(cè)電路，其以通過(guò)所述絕緣膜相對(duì)于所述第一表面絕緣的方式，形成于所述絕緣膜。
8、本發(fā)明的壓力傳感器元件在金屬板形成絕緣膜，并且在該絕緣膜形成壓力檢測(cè)電路，因此，與使用管座的情況相比，能夠使包含了基材和檢測(cè)電路的壓力傳感器元件小型化。另外，通過(guò)設(shè)置金屬板的第一表面露出的露出區(qū)域，在這種壓力傳感器元件中，可從金屬板的第一表面對(duì)金屬板進(jìn)行電阻焊接等通電加工。因此，在這種壓力傳感器元件中，即使不使用外框等框體，也可通過(guò)焊接等容易地固定于殼體(housing)等，并且能夠?qū)卧w的形狀小型化。
9、另外，例如，也可以為，所述金屬板的與所述第一表面為相反側(cè)的表面的第二表面，具有焊接于殼體的焊接部。
10、壓力傳感器通過(guò)焊接部固定于殼體，因此，與通過(guò)外框等構(gòu)件固定的現(xiàn)有的壓力傳感器元件相比，能夠小型化。另外，由于通過(guò)焊接來(lái)進(jìn)行固定，因此高溫環(huán)境下的耐久性也良好。另外，在第二表面存在焊接部，因此，不在金屬板的外周配置固定構(gòu)件，在這一點(diǎn)上，對(duì)小型化也是有利的。
11、另外，例如，其特征在于，從與所述第一表面正交的方向觀(guān)察，所述焊接部的至少一部分與所述露出區(qū)域重疊。
12、這種壓力傳感器元件能夠使用于通電加工的電極與接近焊接部的第一表面接觸而進(jìn)行第二表面的焊接部的形成。因此，這種壓力傳感器元件的焊接部的形成精度良好。
13、另外，例如，也可以為，所述露出區(qū)域以包圍在所述覆蓋區(qū)域形成有所述壓力檢測(cè)電路的部分的方式，沿周向連續(xù)。
14、這種壓力傳感器元件能夠使用于通電加工的電極與接近焊接部的第一表面接觸而進(jìn)行第二表面的焊接部的形成。因此，這種壓力傳感器元件能夠以包圍第二表面中的、與形成有壓力檢測(cè)電路的部分的第一表面的相反側(cè)相對(duì)應(yīng)的受壓區(qū)域的方式，高精度地形成焊接部。
15、另外，例如，也可以位，在作為所述金屬板的與所述第一表面為相反側(cè)的表面的第二表面，形成有向所述第一表面?zhèn)劝枷莸陌枷莶俊?/p>
16、這種壓力傳感器元件能夠提高傳感器的靈敏度。
17、另外，例如，也可以為，在作為所述金屬板的與所述第一表面為相反側(cè)的表面的第二表面，形成有向與所述第一表面?zhèn)葹橄喾磦?cè)突出的凸部，
18、也可以為，所述焊接部形成于所述凸部。
19、另外，例如，也可以為，在作為所述金屬板的與所述第一表面為相反側(cè)的表面的第二表面，形成有從中央側(cè)朝向外周側(cè)且向所述第一表面?zhèn)葍A斜的傾斜面，
20、也可以為，所述焊接部形成于所述傾斜面。
21、另外，例如，本發(fā)明的壓力傳感器元件中，也可以為，所述金屬板包含厚度比中央側(cè)薄的外周緣部，
22、也可以為，在作為所述金屬板的與所述第一表面為相反側(cè)的表面的第二表面，形成有從中央側(cè)到所述外周緣部成為臺(tái)階狀的臺(tái)階部，
23、也可以為，所述焊接部形成于所述臺(tái)階部。
24、這種壓力傳感器元件能夠高精度地形成焊接部。
1.一種壓力傳感器元件，其中，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器元件，其特征在于，
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力傳感器元件，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器元件，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器元件，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器元件，其特征在于，