本公開涉及鎢前體和相關(guān)方法的領(lǐng)域，所述方法包括例如且不限于純化方法和驗(yàn)證雜質(zhì)水平的方法。
背景技術(shù)：
1、用于半導(dǎo)體制造的前體中存在雜質(zhì)會導(dǎo)致缺陷和不當(dāng)工藝變異性。特定來說，對于固態(tài)前體，雜質(zhì)的單獨(dú)晶體可按比相同雜質(zhì)水平下的溶解雜質(zhì)高得多的水平并入至蒸氣流中。由于蒸氣含量對雜質(zhì)水平的高敏感性，當(dāng)前用于測量雜質(zhì)水平的分析技術(shù)不能檢測足夠低的雜質(zhì)水平。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、一些實(shí)施例涉及一種用于純化鎢前體的方法。用于純化鎢前體的方法可包含以下步驟中的一或多者，所述步驟可以任何次序和以任何組合進(jìn)行。在一些實(shí)施例中，所述方法包含獲得含有wcl4、wocl4和wcl5或wcl6中的一者的源容器。在一些實(shí)施例中，所述方法包含使wcl5或wcl6與wocl4的第一部分分離，其中分離包含：向源容器施加第一條件，從而產(chǎn)生第一wocl4蒸氣；和從源容器去除第一wocl4蒸氣的至少一部分。在一些實(shí)施例中，所述方法包含使wcl5或wcl6與wocl4的第二部分分離，其中分離包含：向源容器施加第二條件，從而產(chǎn)生包含(例如任何剩余的)wocl4的wcl5蒸氣或包含(例如任何剩余的)wocl4的wcl6蒸氣；使wcl5蒸氣或wcl6蒸氣流至收集容器；向收集容器施加第三條件，從而產(chǎn)生wcl5凝結(jié)物或wcl6凝結(jié)物和第二wocl4蒸氣；以及從收集容器去除第二wocl4蒸氣的至少一部分。在一些實(shí)施例中，所述方法包含在收集容器中回收前體。在一些實(shí)施例中，所述方法包含驗(yàn)證收集容器中回收的前體的低wocl4含量。
2、一些實(shí)施例涉及一種驗(yàn)證低雜質(zhì)含量的方法。在一些實(shí)施例中，所述方法包含獲得含有wcl5前體或wcl6前體的收集容器。在一些實(shí)施例中，所述方法包含向含有wcl5前體或wcl6前體的收集容器施加條件。在一些實(shí)施例中，所述方法包含測量收集容器內(nèi)的總壓力、收集容器內(nèi)的總壓力的改變速率或其任何組合中的至少一者。在一些實(shí)施例中，所述方法包含將總壓力或總壓力的改變速率與參考值進(jìn)行比較，從而驗(yàn)證出或未驗(yàn)證出低wocl4含量。在一些實(shí)施例中，所述方法包含當(dāng)?shù)蛍ocl4含量未得到驗(yàn)證時從收集容器去除wocl4。
3、一些實(shí)施例涉及前體容器。在一些實(shí)施例中，前體容器包含前體。在一些實(shí)施例中，前體包含wcl5。在一些實(shí)施例中，當(dāng)前體容器維持在70℃(343.15k)至240℃(513.15k)的溫度下時，wcl5具有小于根據(jù)下式所測定的wcl5的所計算蒸氣壓的1.3倍的蒸氣壓：
4、
5、一些實(shí)施例涉及前體容器。在一些實(shí)施例中，前體容器包含前體。在一些實(shí)施例中，前體包含wcl6。在一些實(shí)施例中，當(dāng)前體容器維持在70℃(343.15k)至240℃(513.15k)的溫度下時，wcl6具有小于根據(jù)下式所測定的wcl6的所計算蒸氣壓的1.3倍的蒸氣壓：
6、
1.一種方法，其包含：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述源容器進(jìn)一步含有wcl4。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一條件為所述源容器的總壓力低于wocl4對于給定第一溫度的真實(shí)蒸氣壓的條件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中所述第一條件為所述源容器的總壓力高于wcl5或wcl6對于給定第一溫度的真實(shí)蒸氣壓的條件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中當(dāng)施加所述第一條件時，所述第一wocl4蒸氣包含比wcl5或wcl6體積更大的wocl4。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第二條件為所述源容器的總壓力低于所述wcl5或所述wcl6對于給定第二溫度的真實(shí)蒸氣壓的條件。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述第二條件為所述源容器的總壓力高于所述wcl4對于給定第二溫度的真實(shí)蒸氣壓的條件。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中當(dāng)施加所述第二條件時，所述wcl5蒸氣包含比所述wcl4體積更大的所述wcl5。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中當(dāng)施加所述第二條件時，所述wcl6蒸氣包含比所述wcl4體積更大的所述wcl6。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中當(dāng)施加所述第二條件時，所述wcl5蒸氣包含比所述wcl4體積更大的所述wocl4。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中當(dāng)施加所述第二條件時，所述wcl6蒸氣包含比所述wcl4體積更大的所述wocl4。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第三條件為所述wcl5凝結(jié)的體積大于所述wocl4的條件。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第三條件為所述wcl6凝結(jié)的體積大于所述wocl4的條件。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中當(dāng)施加所述第三條件時，所述wcl5凝結(jié)物包含比wocl4摩爾分率更大的wcl5。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中當(dāng)施加所述第三條件時，所述wcl6凝結(jié)物包含比wocl4摩爾分率更大的wcl6。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包含：
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述驗(yàn)證步驟e)包含：
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述測量步驟e1)包含：
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力，
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力，
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力的改變速率，
22.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述第四條件為所述收集容器的總壓力低于所述wocl4的真實(shí)蒸氣壓的條件。
23.一種用于驗(yàn)證低雜質(zhì)含量的方法，所述方法包含：
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力，
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力，
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力，
27.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其中所述至少一個特性為所述收集容器內(nèi)的總壓力的改變速率，
28.一種前體容器，其包含：
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的前體容器，其中wcl5的所述真實(shí)蒸氣壓是根據(jù)下式來計算：
30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的前體容器，其中所述wcl5在所述前體容器內(nèi)維持所述蒸氣壓，并持續(xù)長達(dá)72小時的時間。
31.一種前體容器，其包含：
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的前體容器，其中wcl6的所述真實(shí)蒸氣壓是根據(jù)下式來計算：
33.根據(jù)權(quán)利要求31所述的前體容器，其中所述wcl6在所述前體容器內(nèi)維持所述蒸氣壓，并持續(xù)長達(dá)72小時的時間。