本申請(qǐng)屬于半導(dǎo)體襯底加工，尤其涉及一種雙面拋光設(shè)備的上片裝置及方法。
背景技術(shù)：
1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，晶片作為制造過(guò)程中的核心材料，其表面質(zhì)量和精度要求越來(lái)越高。為了滿(mǎn)足這些要求，需要采用雙面拋光設(shè)備來(lái)確保晶片表面的平整度和光潔度。晶片一般設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)卡塞當(dāng)中，將晶片從標(biāo)準(zhǔn)卡塞轉(zhuǎn)移至雙面拋光設(shè)備的過(guò)程中，上片操作成為了至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。
2、目前，需要人員手工將晶片擺放至游行片中，并反復(fù)檢查晶片的中心是否在雙面拋光設(shè)備上的游行片的中心。
3、但是，人工手動(dòng)擺放晶片并進(jìn)行反復(fù)檢查是一個(gè)非常耗時(shí)的過(guò)程，效率過(guò)低，且有可能出現(xiàn)漏檢、錯(cuò)檢等情況，最終導(dǎo)致跑片，從而造成巨大損失。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、鑒于上述問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N雙面拋光設(shè)備的上片裝置及方法，為了提高晶片的上片效率和準(zhǔn)確性，減少人工手動(dòng)擺放晶片所帶來(lái)的一系列問(wèn)題，具體方案如下：
2、一種雙面拋光設(shè)備的上片裝置，該裝置包括：控制器、x方向?qū)к?、y方向?qū)к?、電?dòng)導(dǎo)輪、電動(dòng)伸縮桿、電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和機(jī)械臂；所述機(jī)械臂包括連桿和吸盤(pán)；
3、所述控制器分別與所述電動(dòng)導(dǎo)輪、所述電動(dòng)伸縮桿、所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和機(jī)械臂通信連接；
4、所述x方向?qū)к壓退鰕方向?qū)к壪噙B接；
5、所述電動(dòng)導(dǎo)輪設(shè)置在所述x方向?qū)к壓退鰕方向?qū)к壍幕瑒?dòng)范圍內(nèi)；
6、所述電動(dòng)導(dǎo)輪和所述電動(dòng)伸縮桿相連接；
7、所述電動(dòng)伸縮桿和所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)相連接；
8、所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和所述機(jī)械臂相連接；
9、所述x方向?qū)к壍恼路皆O(shè)置有標(biāo)準(zhǔn)卡塞，所述標(biāo)準(zhǔn)卡塞上裝有晶片；
10、所述y方向?qū)к壍恼路皆O(shè)置有雙面拋光設(shè)備，所述雙面拋光設(shè)備上裝有游行片。
11、可選的，所述連桿上裝有第一傳感器，所述第一傳感器與所述控制器通信連接。
12、可選的，所述電動(dòng)伸縮桿上裝有第二傳感器，所述第二傳感器與所述控制器通信連接。
13、可選的，所述第一傳感器包括：紅外傳感器；
14、所述第二傳感器包括：壓力傳感器。
15、可選的，所述x方向?qū)к壣涎b有x方向履帶；所述y方向?qū)к壣涎b有y方向履帶。
16、可選的，應(yīng)用于上述任一項(xiàng)所述的雙面拋光設(shè)備的上片裝置，所述方法包括：
17、所述控制器控制所述機(jī)械臂的吸盤(pán)吸附所述標(biāo)準(zhǔn)卡塞上的晶片；
18、所述控制器控制所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)將所述機(jī)械臂從水平方向旋轉(zhuǎn)至豎直方向；
19、所述控制器控制所述電動(dòng)導(dǎo)輪將所述機(jī)械臂從所述x方向?qū)к壔瑒?dòng)至所述y方向?qū)к墸?/p>
20、所述控制器控制所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)將所述機(jī)械臂沿所述連桿的軸心旋轉(zhuǎn)，直至所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片的中心與所述雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔的中心重合時(shí)，所述控制器控制所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)停止活動(dòng)；
21、所述控制器控制所述電動(dòng)伸縮桿將所述機(jī)械臂下降，直至所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片接觸到所述雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔時(shí)，所述控制器控制所述電動(dòng)伸縮桿停止伸縮，并控制所述機(jī)械臂的吸盤(pán)解除吸力以將所述晶片置于所述呈片孔上。
22、可選的，所述連桿上裝有第一傳感器，所述第一傳感器與所述控制器通信連接；
23、所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片的中心與所述雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔的中心重合的過(guò)程，包括：
24、所述控制器判斷所述第一傳感器是否識(shí)別到所述游行片的開(kāi)孔位置；
25、如果所述連桿上的傳感器識(shí)別到所述游行片的開(kāi)孔位置，則所述控制器控制所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)將所述機(jī)械臂沿所述連桿的軸心繼續(xù)旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度，則確認(rèn)所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片的中心與所述雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔的中心重合。
26、可選的，所述電動(dòng)伸縮桿上裝有第二傳感器，所述第二傳感器與所述控制器通信連接；
27、所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片接觸到所述雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔的過(guò)程，包括：
28、所述控制器判斷所述第二傳感器是否識(shí)別到預(yù)設(shè)壓力；
29、如果所述第二傳感器識(shí)別到所述預(yù)設(shè)壓力，則確認(rèn)所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片接觸到所述雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔。
30、可選的，所述x方向?qū)к壣涎b有x方向履帶；所述y方向?qū)к壣涎b有y方向履帶；
31、所述控制器控制所述電動(dòng)導(dǎo)輪將所述機(jī)械臂從所述x方向?qū)к壔瑒?dòng)至所述y方向?qū)к墸ǎ?/p>
32、所述控制器控制所述電動(dòng)導(dǎo)輪將所述機(jī)械臂從所述x方向?qū)к壣系乃鰔方向履帶滑動(dòng)至所述y方向?qū)к壣系膟方向履帶。
33、可選的，在所述控制所述機(jī)械臂的吸盤(pán)解除吸力之后，所述方法還包括：
34、所述控制器控制所述電動(dòng)伸縮桿將所述機(jī)械臂上升，直至所述控制器確定所述機(jī)械臂的吸盤(pán)不接觸到所述雙面拋光設(shè)備上的游行片時(shí)，所述控制器控制所述電動(dòng)伸縮桿停止伸縮；
35、所述控制器控制控制所述電動(dòng)導(dǎo)輪將所述機(jī)械臂從所述y方向?qū)к壔瑒?dòng)至所述x方向?qū)к墸?/p>
36、所述控制器控制所述電動(dòng)活動(dòng)節(jié)將所述機(jī)械臂從所述豎直方向旋轉(zhuǎn)至所述水平方向；
37、返回執(zhí)行所述控制器控制所述機(jī)械臂的吸盤(pán)吸附所述標(biāo)準(zhǔn)卡塞上的晶片的步驟。
38、基于上述技術(shù)方案，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N雙面拋光設(shè)備的上片裝置及方法，該裝置包括：控制器、x方向?qū)к?、y方向?qū)к?、電?dòng)導(dǎo)輪、電動(dòng)伸縮桿、電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和機(jī)械臂。其中，機(jī)械臂包括連桿和吸盤(pán)?？刂破鞣謩e與電動(dòng)導(dǎo)輪、電動(dòng)伸縮桿、電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和機(jī)械臂通信連接。x方向?qū)к壓蛓方向?qū)к壪噙B接。電動(dòng)導(dǎo)輪設(shè)置在x方向?qū)к壓蛓方向?qū)к壍幕瑒?dòng)范圍內(nèi)。電動(dòng)導(dǎo)輪和電動(dòng)伸縮桿相連接。電動(dòng)伸縮桿和電動(dòng)活動(dòng)節(jié)相連接。電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和機(jī)械臂相連接。標(biāo)準(zhǔn)卡塞上裝有晶片，標(biāo)準(zhǔn)卡塞設(shè)置在x方向?qū)к壍恼路?。雙面拋光設(shè)備上裝有游行片，雙面拋光設(shè)備上的游行片設(shè)置在y方向?qū)к壍恼路?。該裝置可以通過(guò)控制器控制機(jī)械臂的吸盤(pán)吸附標(biāo)準(zhǔn)卡塞上的晶片，然后控制器控制電動(dòng)活動(dòng)節(jié)、電動(dòng)導(dǎo)輪、伸縮桿將機(jī)械臂進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、滑動(dòng)和下降，直至控制器確定機(jī)械臂的吸盤(pán)上的晶片接觸到雙面拋光設(shè)備上的游行片的呈片孔，控制器控制機(jī)械臂的吸盤(pán)解除吸力以將晶片置于呈片孔上。該雙面拋光設(shè)備的上片裝置實(shí)現(xiàn)了晶片的自動(dòng)上片，減少了對(duì)工人的依賴(lài)性，提高了上片效率和準(zhǔn)確性。
1.一種雙面拋光設(shè)備的上片裝置，其特征在于，該裝置包括：控制器、x方向?qū)к墶方向?qū)к墶㈦妱?dòng)導(dǎo)輪、電動(dòng)伸縮桿、電動(dòng)活動(dòng)節(jié)和機(jī)械臂；所述機(jī)械臂包括連桿和吸盤(pán)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光設(shè)備的上片裝置，其特征在于，所述連桿上裝有第一傳感器，所述第一傳感器與所述控制器通信連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙面拋光設(shè)備的上片裝置，其特征在于，所述電動(dòng)伸縮桿上裝有第二傳感器，所述第二傳感器與所述控制器通信連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙面拋光設(shè)備的上片裝置，其特征在于，所述第一傳感器包括：紅外傳感器；
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙面拋光設(shè)備的上片裝置，其特征在于，所述x方向?qū)к壣涎b有x方向履帶；所述y方向?qū)к壣涎b有y方向履帶。
6.一種雙面拋光設(shè)備的上片方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的雙面拋光設(shè)備的上片裝置，所述方法包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙面拋光設(shè)備的上片方法，其特征在于，所述連桿上裝有第一傳感器，所述第一傳感器與所述控制器通信連接；
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙面拋光設(shè)備的上片方法，其特征在于，所述電動(dòng)伸縮桿上裝有第二傳感器，所述第二傳感器與所述控制器通信連接；
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙面拋光設(shè)備的上片方法，其特征在于，所述x方向?qū)к壣涎b有x方向履帶；所述y方向?qū)к壣涎b有y方向履帶；
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙面拋光設(shè)備的上片方法，其特征在于，在所述控制所述機(jī)械臂的吸盤(pán)解除吸力之后，所述方法還包括：